第(2/3)页 “估计等到第一批调试出来后就要官宣,我的升级也可以提上日程了吧,反正都已经到自家地盘上了,老板你自己过来帮我升级嘛。” 林诗琴用嗲嗲的声音讨好似的说到。 “蓬来本来就组装了euv的配套生产线啊,你自己造就是了,不要问我。” 王易有些无语。 镜片可以说是他最早开始起家的地方,连魔力核聚变的原理都是从研究镜片时找到的。 duv光刻机可以说只是‘试试水’的产品。 为啥一直用干式的光刻法? 其实就是因为euv光刻机是无法使用浸润法的,甚至euv光刻机还不能用传统的干式,而是要用‘真空’环境。 因为极紫外线已经是电离辐射,足够将空气电离了,更别说液体。 这种情况下大本营之外的当然还是duv,但蓬来上本来就是王易亲自打造的镜片配套的euv光刻体系。 结构上和以前的duv都还相当类似,完全成熟的技术。 不像阿斯麦的euv光刻机因为没有可以让极紫外线通过的镜头,需要使用反射,能量损失极为严重,每次反射都要浪费30%左右,最终只有2%的利用率。 体积增大的同时光源的高功率还需要配套冷却系统,几乎是相当于完全新开一条赛道了。 所以其实王易这边的euv光刻机出来的还要更早,而且效率和良品率也要远超! “可是他们也有euv了呀,硅基芯片的物理极限都快到了,老板,人家要升级嘛~” 林诗琴的话也让王易有些无语。 她应该能够知道,王易在量子计算的提升上对她是有一定限制的。 毕竟量子计算的算力指数加成,配合王易的新公式算法,很容易导致失控。 但经典计算机的算力提升,王易肯定还是不会给她什么制约的。 euv光刻机,分辨率远远超过了duv光刻机。 采用的是13.5nm波长,已经接近x射线的极紫外线, 理论上已经能达到硅基芯片的极限! 要知道单个的硅原子也就是0.12nm,还要考虑电子隧穿效应,所以目前正常的观点中,1nm差不多就是硅基芯片的极限了。 当然,当初20nm的时候隧穿效应就已经出现,通过结构调整解决的,说不定等到1nm工艺后又找到了解决办法。 可即便这样,0.12nm的硅原子大小也摆在这里,总不可能把原子分开。 这种情况下,所需要考虑的要么就是通过叠加芯片数目来增加晶体管数,采取新架构和新的方式,要么就要考虑其他材料了。 比如碳基就是一个方向,但碳基有待解决的问题太多了,麻烦还很多。 而除此之外,还有另外一种材料,同等密度下算力能够超过硅基数百倍! 第(2/3)页